具有較強的抗干擾能力,對環(huán)境條件的要求不像激光干涉?zhèn)鞲衅髂菢訃栏?,但不如感應同步器和磁柵式傳感器的適應性強,油污和灰塵會影響它的可靠性。主要適用于實驗室條件下工作,也可在環(huán)境較好的車間中使用。?高精度光柵的成本高。光柵式傳感器在幾何量測量領域中多用于測量長度(或直線位移)和角度(或角位移)。具體應用有如下幾個方面:?長度和角度的精密計量儀器。如線值計量的工具顯微鏡、測長儀、比長儀,以及三坐標測量機等;角度計量的分度頭、圓轉(zhuǎn)臺,以及度盤檢驗儀等。
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